国内15,000台のユーザー様の声から生まれた 低コスト・短納期・省スペース。
高温冷却・ポンプ交換可能。 日本の半導体工場を支える小型チラーの定番。
- 標準温調(Aタイプ)
- 精密温調(Bタイプ)
- 小型CHシリーズ用ポンプユニット
|
様々にカスタマイズ可能な汎用大型。
あらゆるニーズに幅広く対応、ユーザー様仕様にカスタマイズするためのベースマシン。
- 空冷式/一体型
- 水冷式/一体型
- 空冷式/セパレート型
- 空冷式/一体型/屋外置き
-60℃が可能な超低温向け。
フッ素系熱媒体を使用し超低温コントロールが可能。
+200℃が可能な高温向け。
フッ素系熱媒体を使用し加熱温度コントロールが可能。
|