冷水循環機も製作いたします。

低温域での温調に特化した特注も承ります。お気軽にお問い合わせください。
詳しくは大型CHシリーズのカスタマイズ例をご覧下さい。

超低温コントロールが可能な循環装置

超低温から幅広い温度範囲。

-60℃~+40℃までの広い温度領域で使用することが可能です。また超低温下でも安定した冷却性能(1kW以上/-40℃)を発揮します。(循環液にはフッ素系熱媒体をご使用ください)

リークレスポンプを採用。

循環ポンプはマグネットタイプのリークレスポンプを使用しているため、液漏れがありません。 また、ポンプ運転にはインバーターを使用していますので、供給電源周波数の影響を受けません。

様々なカスタマイズに対応。

お客様のニーズに合わせて、様々なカスタマイズに対応しております。ご相談ください。

SCシリーズは超低温を必要とする様々な用途でお使い頂けます。以下はそのほんの一例です。

[半導体製造装置向け] ドライエッチング装置の冷却。

半導体や電子デバイスの回路を微細加工する装置である、ドライエッチング装置の温度管理にはチラーが不可欠です。

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