小型CHシリーズ(水冷式、精密温調、200V) クーリングポンプ

CH-802BF
商品コード:0022413-000

精密温調、高温冷却、各種信号の入出力。シリーズ中もっとも高い冷却能力。



シリーズ中もっとも高能力な本製品は、高い冷却能力や温度安定までのスピードが要求されるような用途に最適です。

主な用途

半導体部品の加工ステージの温度管理 

特長

広い温度範囲を±0.5℃の精密温調

-10℃~+70℃の範囲で温度設定が可能。冷凍機を連続運転しヒーターによって温度調節を行うため、精度よく安定した恒温水循環が可能です。

充実した各種の信号系と安全器

リモート温度設定や温度モニターが可能です。また、備えている各種の安全器は、その作動信号を外部出力することが可能です。


高温冷却が可能

使用温度範囲全域で冷凍機が作動、高温域でも冷却が可能です。高温冷却は、例えば対象を+60℃に温調する場合において、戻りの循環液温が+60℃よりも高くなるような場合に必要な能力です。

仕様

型名CH-802BF
使用温度範囲 +10℃~+70℃(*1)
温度調節精度 ヒーターPID制御、±0.5℃(*2)
冷却能力(50Hz時) 約1.9kW(*3)
冷凍機出力 水冷式、750W
ヒーター出力 3kW
温度設定・表示 デジタル式(温度設定/槽内温度表示切換式)
安全器/安全機能 漏電/過電流ブレーカー、冷凍機異常警報、高低温、ポンプモーター異常警報、温度センサー異常診断回路、液補充警報、空焚防止、反相リレー
その他の機能 リモート温度設定、安全器作動信号出力、外部温度センサー接続(*4)
水槽容量(80%水位) 約26L(*5)
適用ポンプユニット P-320、P-420、P-520
所要一次冷却水量 +25℃の冷却水:7.5L/mim
+34℃の冷却水:18L/min
一次冷却水接続口径 Rc1/2
外形寸法 407×590×771Hmm(ポンプ含まず)
本体質量 約90kg(ポンプ含まず)
所要電源 三相AC200V・50/60Hz、15A(ポンプ含まず)
運転電流 12A(ポンプ含まず)
標準付属品 電源コード、排水用ゴムホース、信号用コネクター
価格 ¥968,000 (別売のポンプユニットが必要です。下の別売部品から適切なものをお選びください)
(*1)+7℃以下にて使用される場合は必ず不凍液(種類はご相談ください)を使用してください。
(*2)温度性能は使用熱媒体、使用環境温度、熱負荷、循環配管距離等の影響により維持できない場合があります。
(*3)清水を使用し循環液温が+10℃、装置単体での能力です。搭載ポンプユニットによって冷却能力は変動します。なお、一次冷却水の供給が所定値を下回ると冷却能力が低下します。
(*4)外部温度センサーは別売でご用意しております(Φ4×250mm、¥17,000)。
(*5)密閉構造でないため、設定温度・熱媒体の種類によっては使用液の蒸発・減量があります。
●本装置の使用環境温度範囲は+5℃~ +35℃です。

外形図

別売部品


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精密温調、高温冷却、各種信号の入出力。シリーズ中もっとも高い冷却能力。水冷式もあり。

ダウンロードファイル

チラー総合カタログより クーリングポンプ CH-802BF(PDF)
チラー総合カタログ2019(PDF、9MB)

関連情報・関連リンク

チラーシリーズのプロダクトサイト『chiller.jp』

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